微红外热像仪是设备中的主要产物，在已开发的产物中微红外热像仪占到很大的份额。微红外热像仪的体积小、功耗低、呼应快、便于和信号处置有些集成以构成微红外热像仪测验体系、这些特性使其能够使用于汽车、航空航天、电机、医学、家用电器、生物化学、环境检测等宽广范畴。
在微红外热像仪中微铁水测温仪是其间一个首要的分支。红外热像仪的灵敏度和线性度是红外热像仪最重要的功能特征。特别是关于超微铁水测温仪而言。小量程的微铁水测温仪的灵敏度和线性度一直是阻止微铁水测温仪开展的一大要素。
为了处理微铁水测温仪灵敏度和非线性的对立,在布局上,归纳梁膜布局与平膜双岛布局的长处,选用双岛-梁布局。岛区的面积不是按份额扩大或减少。首要,为了添加灵敏度,应尽能够减小窄梁区的长度和宽度。由于从对梁-膜-岛布局的有限元剖析和近似解析剖析中发现,减小窄梁区的长度和宽度能够明显地使梁上的应力增大。而且当中心窄梁的长度约为两头窄梁长度的2倍时,器材的线性度最棒。虽然有双岛限位布局,但在高过载情况下,硅膜将首要从岛的边区和角区决裂。这是由于传统的岛膜布局都是选用惯例的有掩模的各向异性湿法腐蚀,从硅片反面构成硅膜和背岛。硅膜是晶面,边框和背大岛旁边面都是晶面,夹角为54.74°的锐角。依据力学原理,在角区存在应力会集效应,使硅膜在正面或反面受压今后,角区会具有应力的极值,因而决裂首要从该处发作。引进应力匀散布局今后,使角区变成具有必定曲率的圆角区,使该区的应力极值降低。在硅膜与边框或背岛的交界处要构成有必定曲率半经的缓变布局,选用通常的惯例各向异性湿法腐蚀是无法完成的。为此,选用了掩模-无掩模各向异性湿法腐蚀技能。
微铁水测温仪具有广泛的用处，当前微铁水测温仪的量程还不行小，灵敏度和线性度也不是很好，所以微铁水测温仪还不能得到很好的使用，跟着科技的开展，微铁水测温仪的使用远景将会进一步拓宽。
